此次日本东北地区发生的地震,影响到日本一些半导体厂商的半导体生产。受影响量大的是日本冲电气公司(Oki)。7日26日的地震的震中位于宫城县北部。距震中较近的冲电气公司宫城半导件厂,在地震中一些扩散炉的玻璃管发生了破裂。该厂是冲电气的半导体前工序生产厂。以扩散、光刻等工序为主。在半导体生产线中,较为精密的是光刻机。当发生地震时,会破坏其工作精度。每当此时,一般需要设备厂来工程师重新调整。 目前,半导体的工艺以0.13微米线宽为主。0.13的微米仅为一根头发丝的600分之一。因而只要发生有感地震,通常都需重新检测光刻机。因余震不断,冲电气的半导体生产厂已停产,设备损坏情况正分阶段检查和统计之中。 |
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2011-03-12 18:06
出处:PConline原创
责任编辑:zhaojuan